工業用配管・設備のイメージ

用途・部品別

真空チャンバーの研磨

半導体製造装置・スパッタ装置・蒸着装置などの中核部品向け。アウトガス低減・パーティクル抑制・到達真空度の改善を目的に、真空性・清浄性・耐食性の3軸で品質要件を整理します。SUS304/316Lのほかアルミ・チタンにも対応。大型チャンバーには出張研磨も選択肢に。

半導体装置向け 精密研磨

Ra 0.1μm以下の超鏡面・パーティクルレベルの清浄度・高純度ガス耐食性を同時に管理。マニホールド、ガスパネル、ウエハ搬送部品、シャワーヘッド等が対象。JASM(TSMC)をはじめとする半導体メーカーとの取引実績があり、クリーンルーム(class 10,000)での作業・検査体制を整備しています。

配管・内面の電解研磨

サニタリー配管の洗浄性向上・清浄性確保・耐食性強化に。口径8A〜150A、最長6mまでの直管・組立配管に対応。食品・医薬品・化学プラント向けの需要が多く、口径・長さ・曲がり・継手の有無で対応条件が変わるため、形状条件の早期確認がポイントです。

タンク・容器の研磨

食品タンク・医薬品容器・化学反応槽・貯蔵タンクなど幅広い分野に対応。搬出可能な中型タンクは工場への持込で高品質管理、据付済みの大型タンクは出張研磨(現地対応)が選択肢に。内面の洗浄性向上、薬液耐性の確保、外観改善が主な目的です。

用途が決まったら — 工法の選び方

用途ごとの課題が整理できたら、次は具体的な工法の比較検討です。

用途 よく使われる工法 主な目的 詳細ページ
真空チャンバー 電解研磨、電解複合研磨 真空性、清浄性、Ra管理 真空チャンバーの研磨
半導体精密部品 電解研磨、電解複合研磨、不動態化 Ra、清浄度、耐食性 半導体装置向け精密研磨
配管・パイプ内面 電解研磨 洗浄性、清浄性、耐食性 配管・内面の電解研磨
タンク・容器 電解研磨、バフ研磨 内面清浄性、外観改善 タンク・容器の研磨

工法の全体像は サービス(工法)をご覧ください。

研磨のことなら、まずはお気軽にご相談ください。

材質・用途・仕上げの目標が決まっていなくても大丈夫です。50年以上の実績をもとに、最適な工法と条件をご提案します。工法選びに迷われている段階でも、お気軽にどうぞ。